เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนที่ใช้ศึกษาโครงสร้างขนาดเล็กที่มีกำลังขยาย 25 เท่า ถึง 1,000,000 เท่า เป็นกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดที่มีแหล่งกำเนิดอิเล็กตรอนเป็นชนิด In-lens Schottky Field Emission Gun มี resolution สูงถึง 1 nm ที่ 15 kV ศักย์เร่งอิเล็กตรอนปรับเปลี่ยนได้ในช่วง 0.5-30 kV การวิเคราะห์ด้วยภาพถ่ายของระบบประกอบด้วยหัววัดดังนี้ คือ หัววัด Secondary Electron Detector ตำแหน่งบน (Upper Detector) รวมอยู่ใน Conical Objective Len และตำแหน่งล่าง (Lower Detector) และหัววัด Backscattered Electron Detector ที่สามารถให้สัญญาณภาพทั้งแบบ Composition Image และ Topography Image 3 มิติ

             นอกจากนี้ยังสามารถต่อกับ Detector วิเคราะห์ธาตุเชิงพลังงาน (Energy Dispersive X-Ray Spectrometer ; EDS) ใช้ในการศึกษา ชนิด ปริมาณ และการกระจายขององค์ประกอบธาตุของวัสดุหรือตัวอย่างได้

 

FESEM Mode : LM, SEM, GB-H, GB-L                             

 

FESEM Detector : SEI, LEI, LABE, UEC, EDS