กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (Atomic Force Microscope, AFM)
Park system : XE-100
เป็นกล้องจุลทรรศน์ชนิดหัวอ่านส่องกราด (Scanning Probe Microscopes, SPMs) หลักการทำงานโดยวัดแรงดึงดูดหรือแรงผลักที่เกิดขึ้นระหว่างหัวเข็มกับพื้นผิวตัวอย่างและเกิดแรงที่กระทำต่อก้าน (cantilever) ของหัวอ่าน จะทำให้หัวอ่านเอียงด้วยมุมต่างๆ กันตามความสูงต่ำของพื้นผิวตัวอย่างเกิดมุมสะท้อนของลำแสงเลเซอร์ที่ยิงลงไปยังก้านของหัวอ่านสะท้อนไปยัง Detector และแปลงสัญญาณออกมาเป็นภาพของพื้นผิว 3 มิติ ใช้ศึกษาลักษณะพื้นผิวและความขรุขระ ดูการกระจายตัวของสารตัวอย่าง วิเคราะห์ความหนา ความลึกของตัวอย่าง เป็นต้น